等離子廢氣凈化器又稱為低溫等離子廢氣凈化器、等離子廢氣處理設備，等離子廢氣凈化器是一種用應于有機廢氣處理的環保設備，具有阻力小，操作簡單等特點，等離子廢氣處理設備廣泛適用于工廠各種低濃度的有機廢氣處理。

低溫等離子體去除污染物的機理：

等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1)電場＋電子→能力好電子

(2)能力好電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團

(3)活性基團＋分子(原子)→生成物+熱

(4)活性基團＋活性基團→生成物+熱

從以上過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，能力好電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。

等離子廢氣凈化器安裝規范：

1、輸入電源與凈化器所用電源相符，嚴禁輸入電源與凈化器所用電源不符，且凈化器箱體接地，以確認。

2、凈化器進風口安裝變徑導風分流管(內設百葉式分流片，每片間距100MM)，使廢氣平均分布進入凈化器的各處理室，提高凈化器使用率和處理效果。

3、在安裝凈化器留有足夠空間用來打開凈化器的門艙和電控蓋，方便維護，檢修及清洗。

4、為確認，凈化器安裝在室外，對凈化器的電控電源加蓋保護，以防雨水及陽光損壞電控電源而導致發生事故。

5、凈化器需拆散搬運安裝時，由人員根據原有裝配規范操作組裝，嚴禁有雜物或砂塵進入內部處理室，并檢查內部件是否牢固。

6、選擇凈化器安裝位置時，要求與污染源保持5米以上距離，抽風機與凈化器保持在3米以上距離較為合適，并加設減振套以防影響凈化器工作。

7、凈化器安裝在高樓天臺時，建議安裝防雷設施，以保，嚴禁將凈化器安裝在高溫設施附近。